以实际行动和优异成绩庆祝建党100周年
党的百年华诞前夕
北京航空航天大学
献上了一张特殊的生日“贺卡”
在厚度为5个原子层的
纳米磁性薄膜上
北航科学家们写下祝福
“100年，中国‘芯’”
2021年6月29日
新华社报道——
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磁性芯片可作为高可靠的信息存储模块
和高灵敏的磁信号传感模块
应用于飞机、卫星的控制系统
以及手机电子罗盘、汽车自动驾驶等领域
磁性芯片生产过程中
需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆上
（晶圆：制作硅半导体集成电路所用的衬底）
图源 网络
5个原子层的厚度
相当于一张普通打印纸的十万分之一
要确保所有晶圆完全“躺平”有多难？
相当于在北京市海淀区的地面上
均匀铺满5层厚的小米粒
且须完全平整！
新华社记者 鞠焕宗 摄
因此
检测薄膜的平整度尤为关键
磁性芯片生产过程中的
磁性薄膜检测这一关键技术
属于我国长期被“卡脖子”的技术
科研人员利用检测仪器
通过微小的磁性针尖在薄膜上写字
若字的颜色对比度一致、字迹清晰
则表明薄膜具有良好的均匀性
完成平整度检测后
将纳米薄膜制成器件
封装后形成芯片
新华社记者 鞠焕宗 摄
这一检测仪器
正是由北航集成电路科学与工程学院
工艺与装备系科研团队设计研发出的
晶圆级磁光克尔测试仪
“
对比国外同类设备，这台仪器在测试精度和速度等方面进行了技术革新，实现了自主创新突破。
——集成电路学院工艺与装备系主任 王新河
”该设备现已应用于科研领域
且预计于今年10月
在产业领域投入商用
1993年
中国科学院科研团队
用10个原子摆出“中国”字样
标志着我国可自主实现原子操纵
图源 网络
如今，北航研制的
用于书写“100年，中国‘芯’”的
晶圆级磁光克尔测试仪
为具有百亿元市场规模的磁性芯片产业
提供设备支撑！
新华社记者鞠焕宗 摄
从“中国”到“100年，中国‘芯’”
背后的科研突破
成为我国高科技自主创新能力不断提升、
国家科技力量持续增强的一个缩影
服务国家重大需求
瞄准国际科学前沿
攻克“卡脖子”关键技术
实现高水平科技自立自强
作为全国第一个
集成电路科学与工程学院
一起再了解下
北航集成电路科学与工程学院
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学院2003年获批一级学科博士学位点，2004年获批国家级集成电路人才培养基地，2015年获批国家首批示范性微电子学院（筹），2016年获批国家级国际科技合作基地，2019年获批工信部重点实验室。2020年，微电子学院正式更名为集成电路科学与工程学院。
学院目前下设“集成电路材料与器件”、“集成电路设计与工具”、“集成电路工艺与装备”三个系，并承担校级智能微纳公共创新中心建设。现有专职教师35人，诺贝尔奖得主、IEEE Fellow、国家级人才计划入选者12人次。建有国家级教学科研基地2个、省部级教学科研基地2个。加强基础研究实现原始创新，发表Nature子刊7篇，自旋电子等领域取得国际领先。加速开展“产教融合”，与华为、歌尔、航天科技等领军企业建立多个校企联合实验室。与巴黎萨克雷、荷兰埃因霍温理工等国际知名高校开展双博士硕士联合培养，已有多位学生获得国际双博士学位。
研发晶圆级磁光克尔测试仪的
集成电路工艺与装备系
于2021年3月正式成立
突出国际协同育人特色
在联合实验室框架下设立课题研究组
以面向产业应用的项目为载体
合作培养行业紧缺高水平研发人才
日前，集成电路学院赵巍胜教授
领衔编著的
《集成电路科学与工程导论》
也正式出版发行
这是国内第一部
集成电路科学与工程专业的导论教材
“作为科研一线的基层党员，
我觉得扎实搞研究、实现创新突破，
便是我们对建党百年最好的献礼。”
学院教师张学莹如是说
北航科学家们
潜心研究 勇攀高峰！
邸白鹭 摄
出品 | 航小萱工作室
素材来源｜集成电路科学与工程学院 新华社
编辑 | 王一舟 史越
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